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Estudo do contato metal-semicondutor em 'GA''AS' e sua contribuicao na construcao de mesfet (1991)

  • Authors:
  • Autor USP: LEE, HONG KEUN - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEL
  • Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: Este trabalho consiste em estudar e otimizar contatos metal-semicondutor de arseneto de galido para construcao de transistores mesfet. Para chegar a este objetivo construiu-se dispositivos de caracterizacao dos contatos e camada ativa; desenvolveu-se uma tecnologia de construcao de transistor mesfet de microonda; e finalmente caracterizou o transistor e comparou os resultados obtidos experimentalmente com os obtidos teoricamente (estimados com dispositivos de caracterizacao). A comparacao dos resultados mostraram a validade dos metodos de caracterizacao e a tecnologia de construcao de transistor mesfet desenvolvida. O transistor construido com comprimento de porta de 1, 2 microns apresentou caracteristicas de microondas consideradas boas. O contato ohmico obtido a base de material sinterizado 'PD'/'GE'/'AU' mostrou ter baixa resistividade e uma boa morfologia de superficie, o que permitiria maior interacao
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 03.05.1991

  • How to cite
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    • ABNT

      LEE, Hong Keun. Estudo do contato metal-semicondutor em 'GA''AS' e sua contribuicao na construcao de mesfet. 1991. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1991. . Acesso em: 02 jun. 2024.
    • APA

      Lee, H. K. (1991). Estudo do contato metal-semicondutor em 'GA''AS' e sua contribuicao na construcao de mesfet (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Lee HK. Estudo do contato metal-semicondutor em 'GA''AS' e sua contribuicao na construcao de mesfet. 1991 ;[citado 2024 jun. 02 ]
    • Vancouver

      Lee HK. Estudo do contato metal-semicondutor em 'GA''AS' e sua contribuicao na construcao de mesfet. 1991 ;[citado 2024 jun. 02 ]

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