Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass) (1994)
- Authors:
- Autor USP: ZAIA, GILBERTO VITOR - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Português
- Abstract: A planarizacao superficial em processos com multiniveis metalicos, em tecnologias de alta densidade de integracao, tem sido um requisito necessario e importante no processamento de circuito integrado. Dentre os varios processos de planarizacao, as tecnicas que utilizam sog (spin-on-glass) possuem maior simplicidade de processamento. Com o objetivo de estabelecer condicoes para utilizacao da tecnica, foram feitos ensaios experimentais com 4 tipos distintos de sog disponiveis comercialmente. As principais caracteristicas fisicas, quimicas, mecanicas e eletricas foram estudadas, objetivando-se a aplicacao dos materiais na suavizacao e planarizacao topografica. Procurou-se enfatizar as tecnicas que resultassem em aplicacoes possiveis de acordo com os limites da infra-estrutura de nosso laboratorio. Os resultados obtidos comprovam a eficiencia do sog na planarizacao superficial, perfeita compatibilidade com os processos mos e propriedades eletricas satisfatorias como isolantes intermetalicos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 29.07.1994
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ABNT
ZAIA, Gilberto Vitor. Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass). 1994. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 21 maio 2024. -
APA
Zaia, G. V. (1994). Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass) (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Zaia GV. Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass). 1994 ;[citado 2024 maio 21 ] -
Vancouver
Zaia GV. Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass). 1994 ;[citado 2024 maio 21 ]
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