Estudo da deposicao de filmes de sog (spin-on-glass) (1993)
- Authors:
- Autor USP: ZASNICOFF, LUIZ SERGIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
ZAIA, G V e ZASNICOFF, Luiz Sergio. Estudo da deposicao de filmes de sog (spin-on-glass). 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 21 maio 2024. -
APA
Zaia, G. V., & Zasnicoff, L. S. (1993). Estudo da deposicao de filmes de sog (spin-on-glass). In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Zaia GV, Zasnicoff LS. Estudo da deposicao de filmes de sog (spin-on-glass). Anais. 1993 ;[citado 2024 maio 21 ] -
Vancouver
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