Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS' (1994)
- Authors:
- USP affiliated authors: JOSE AUGUSTO DE ALENCAR MENDES PEREIRA - EP ; SAITO, MEGUMI - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
SEKI, J e PEREIRA, J A A M e SAITO, M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 11 maio 2024. -
APA
Seki, J., Pereira, J. A. A. M., & Saito, M. (1994). Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Seki J, Pereira JAAM, Saito M. Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'. Anais. 1994 ;[citado 2024 maio 11 ] -
Vancouver
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