Tese

Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti'Si IND.2' formados e sua correlação com a tensão mecânica (1997)

• Authors:
  • Souza, Silvana Gasparotto de
  • Laganá, Armando Antonio Maria (Orientador)
• Autor USP: SOUZA, SILVANA GASPAROTTO DE - EP
• Unidade: EP
• Sigla do Departamento: PEE
• Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
• Language: Português
• Abstract: Nós estudamos neste trabalho a formação de siliceto de titânio a partir de filmes de titânio evaporados sobre Si (100). Empregamos diversas receitas de recozimento térmico rápido e analisamos sua influência na morfologia e na tensão mecânica dos filmes de 'TiSi IND.2' formados. De forma geral, observamos tipos de morfologia superficial bastante distintas dependendo da taxa de aquecimento inicial em baixa temperatura das receitas de recozimento empregadas. Como reaultado, propusemos duas receitas de recozimento: a primeira receita de recozimento consisitiu em uma rampa lenta de aquecimento ('til' 1 grau Celsius/s) até uma temperatura de aproximadamente '700 GRAUS' C seguida por uma rampa rápida de aquecimento ('til'60 grausCelsius/s) até 850 graus Celsius e um patamar isotérmico em 850 graus Celsius com duraçào na faixa de 5 a 60s. A segunda receita de recozimento consistiu de uma rampa rápida de aquecimento('til'60 graus Celsius) até uma temperatura de 850 grausCelsius seguida de um patamar isotérmico em 850 graus Celsius e duração na faixa de 5 a 60s. Observamos que quando a primeira receita é empregada, ocorre um pronunciado efeito de "molhamento" (um filme descontínuo com uma densidade de buracos emtorno de 4 buracos/'mü''m POT.2').Por outro lado, quando a segunda receita é utilizada, notamos a formação predominante de ilhas isoladas (grãos grandes). O efeito de "molhamento" foi atribuído a rampa lenta de aquecimento inicial do perfil temporal detemperatura, e a formação de ilhas isoladas foi atribuída à rampa rápida de aquecimento do perfil temporal de temperatura
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 1997
• Data da defesa: 05.09.1997

---

How to cite

A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

• ABNT

  SOUZA, Silvana Gasparotto de. Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti'Si IND.2' formados e sua correlação com a tensão mecânica. 1997. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1997. . Acesso em: 16 maio 2024.

• APA

  Souza, S. G. de. (1997). Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti'Si IND.2' formados e sua correlação com a tensão mecânica (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.

• NLM

  Souza SG de. Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti'Si IND.2' formados e sua correlação com a tensão mecânica. 1997 ;[citado 2024 maio 16 ]

• Vancouver

  Souza SG de. Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti'Si IND.2' formados e sua correlação com a tensão mecânica. 1997 ;[citado 2024 maio 16 ]

Últimas obras dos mesmos autores vinculados com a USP cadastradas na BDPI:

• Estudo da viabilidade técnica da utilização de microcanais para concentração de produtos químicos