SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Unidades: IF; EP
- Assunto: ÓPTICA
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos de Trabalhos
- Conference titles: Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS
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ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira e FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu e PEREYRA, Inés. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. 2000, Anais.. Campinas: LNLS, 2000. . Acesso em: 15 maio 2024. -
APA
Prado, R. J., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2000). SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. In Resumos de Trabalhos. Campinas: LNLS. -
NLM
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 maio 15 ] -
Vancouver
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I. SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 maio 15 ] - On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
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