Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide (2008)
- Authors:
- Autor USP: SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/1.2956053
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2008
- Source:
- Título do periódico: SBMICRO 2008: Anais
- ISSN: 1938-5862
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
ELEOTÉRIO, Marcos et al. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.2956053. Acesso em: 27 abr. 2024. -
APA
Eleotério, M., Doi, I., Figueroa, R., Diniz, J. A., & Santos Filho, S. G. dos. (2008). Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. doi:10.1149/1.2956053 -
NLM
Eleotério M, Doi I, Figueroa R, Diniz JA, Santos Filho SG dos. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 abr. 27 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956053 -
Vancouver
Eleotério M, Doi I, Figueroa R, Diniz JA, Santos Filho SG dos. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide [Internet]. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 abr. 27 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.2956053 - Potentiostatic electrodeposition of Au-Sn alloys from a non-cyanide bath for soldering: influence of reagents concentrations
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Informações sobre o DOI: 10.1149/1.2956053 (Fonte: oaDOI API)
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