Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos (2010)
- Authors:
- Autor USP: HUANCA, DANILO ROQUE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA); PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; MATERIAIS; ELETROQUÍMICA; CORROSÃO; SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA); NANOTECNOLOGIA; MATERIAIS NANOESTRUTURADOS; NANOPARTÍCULAS
- Language: Português
- Abstract: O objetivo do presente trabalho foi fabricação de micro e nanotubos de silício através de métodos eletroquímicos, utilizando como material de partida o silício poroso. Os resultados obtidos durante o desenvolvimento deste trabalho apresentam contribuições significativas nos campo da micro e nanotecnologia, bem como no campo da eletroquímica do silício. Esses resultados mostraram que a formação dos microtubos é sensível às variações do pH, tipo e concentração dos oxidantes, tempo de corrosão, espessura das camadas porosas e tratamento prévio da superfície polida das amostras com alumínio e posterior recozimento térmico. A análise estrutural, via microscopia eletrônica de varredura (MEV), mostra que os microtubos de silício (MTS) podem ser formados em valores de pH entre 5.5 a 7.5, dependendo do tipo e concentração dos oxidantes. A análise da composição química dos MTS, realizada mediante a técnica EDS, junto aos resultados da espectroscopia Raman, indica que as estruturas são tubos de Si, cuja estrutura estequiométrica é a mesma que a do cristal de Si. Foi demonstrada a possibilidade de formação de microtubos metálicos através do controle das condições químicas e eletroquímicas da solução, utilizadas na formação das estruturas tubulares de silício. A condição da solução eletroquímica com nível de pH 6,5 permitiu formar microtubos de Ni, enquanto que estruturas tubulares de Mn que foram obtidas em soluções com nível de pH 7,5. Em ambos os casos, foram utilizados agentes oxidantes originados de sais de Ni e Mn, respectivamente. Os resultados indicam que o processo de formação destas estruturas acontece por efeito do deslocamento galvânico.Os resultados apresentados neste trabalho são completamente inéditos e mostram-se vantajosos em relação àqueles reportados na literatura, já que estes últimos são obtidos mediante processos de alto custo que requerem sofisticados equipamentos, enquanto os microtubos de silício obtidos mediante técnicas eletroquímicas, aqui usadas, são de baixo custo e fácil montagem.
- Imprenta:
- Data da defesa: 21.06.2010
-
ABNT
ROQUE HUANCA, Danilo. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos. 2010. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/. Acesso em: 12 maio 2024. -
APA
Roque Huanca, D. (2010). Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/ -
NLM
Roque Huanca D. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;[citado 2024 maio 12 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/ -
Vancouver
Roque Huanca D. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;[citado 2024 maio 12 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/ - Estruturas multicamadas de silício poroso para aplicação em dispositivos de cristais fotônicos
- Porous silicon photonic crystals: influence of electrolyte composition on the nanostructure and the optical response
- The nickel micro-tubes fabrication by galvanic displacement method using macroporous silicon as template
- Hafnium aluminates deposited by atomic layer deposition: structural characterization by X-ray spectroscopy
- Nickel salt effect on macroporus silicon immersed in fluoride solution: from silicon microtubes to nickel microtubes
- Correlation-based multi-shape granulometry with application in porous silicon nanomaterial chacaracterization
- A new correlation-based granulometry algorithm with application in characterizing porous silicon nanomaterials
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
