RF MEMS em ondas milimétricas. (2020)
- Autor:
- Autor USP: REHDER, GUSTAVO PAMPLONA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Language: Português
- Abstract: O mercado atual voltado para telecomunicações apresenta uma crescente demanda de novos serviços e aplicações utilizando grandes volumes de dados que tendem a saturar as faixas de frequências e larguras de banda disponíveis. Por isso, os centros de pesquisa têm sua atenção voltada para aplicações em ondas milimétricas (30 GHz a 300 GHz) como transmissão de vídeo em tempo real em altas taxas de Gb/s (57 GHz a 66 GHz na Europa), radares automotivos (76 GHz a 81 GHz) e imagens por RF (94 GHz, 140 GHz e acima). A recente evolução dos circuitos ativos em CMOS, com demonstrações de transistores com frequências de transição acima de 300 GHz, abre a oportunidade para o desenvolvimento de sistemas integrados de alto desempenho a baixo custo operando em ondas milimétricas. Contudo, as chaves PIN e FET realizadas em silício degradam rapidamente sua isolação com o aumento da frequência e até o momento, somente as chaves RF MEMS conseguem obter alta isolação e baixas perdas em ondas milimétricas. Neste trabalho, foram analisados o comportamento dos elementos parasitas como a capacitância no estado não-atuado, a resistência e capacitância no estado atuado e impedância da chave, para delinear algumas diretrizes gerais para o projeto de chaves em ondas milimétricas. De uma maneira geral, as chaves de banda-larga possuem um isolamento que se degrada com o aumento da frequência, mas podem ser utilizadas em varactores e defasadores com ótimos resultados. Por outro lado, chaves shunt com uma combinação de indutância e capacitância, permitem a obtenção de um zero de transmissão no estado atuado (chave aberta), alcançando um bom isolamento em frequências de até 240 GHz. Os trabalhos focados em RF MEMS para ondas milimétricas no LME visaram ao desenvolvimento de chaves. Algumas diferentes tecnologias foram utilizadas nestes desenvolvimentos: tecnologia do interposer MnM.
- Imprenta:
- Data da defesa: 31.08.2020
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ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. RF MEMS em ondas milimétricas. 2020. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2020. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/. Acesso em: 29 maio 2024. -
APA
Rehder, G. P. (2020). RF MEMS em ondas milimétricas. (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/ -
NLM
Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 maio 29 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/ -
Vancouver
Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 maio 29 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/ - Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS
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