Microlens array fabricated by gray-scale lithography maskless system (2012)
- Authors:
- USP affiliated authors: MANSANO, RONALDO DOMINGUES - EP ; GONCALVES NETO, LUIZ - EESC ; ARISTIZABAL, SERGIO LOPERA - EP
- Unidades: EP; EESC
- DOI: 10.1149/04901.0339ecst
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2012
- Source:
- Título do periódico: Microelectronics technology and devices, SBMicro
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: bronze
-
ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio et al. Microlens array fabricated by gray-scale lithography maskless system. 2012, Anais.. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, 2012. Disponível em: https://doi.org/10.1149/04901.0339ecst. Acesso em: 04 maio 2024. -
APA
Cirino, G. A., Lopera Aristizábal, S., Montagnoli, A. N., Mansano, R. D., & Goncalves Neto, L. (2012). Microlens array fabricated by gray-scale lithography maskless system. In Microelectronics technology and devices, SBMicro. Pennington: Escola Politécnica, Universidade de São Paulo. doi:10.1149/04901.0339ecst -
NLM
Cirino GA, Lopera Aristizábal S, Montagnoli AN, Mansano RD, Goncalves Neto L. Microlens array fabricated by gray-scale lithography maskless system [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2024 maio 04 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0339ecst -
Vancouver
Cirino GA, Lopera Aristizábal S, Montagnoli AN, Mansano RD, Goncalves Neto L. Microlens array fabricated by gray-scale lithography maskless system [Internet]. Microelectronics technology and devices, SBMicro. 2012 ;[citado 2024 maio 04 ] Available from: https://doi.org/10.1149/04901.0339ecst - Digital holography: computer-generated holograms and diffractive optics in scalar diffraction domain
- Diffractive phase-shift lithography photomask operating in proximity printing mode
- Diffractive optical element applied to proximity exposure lithography exploring partial light coherence
- Low-cost Fresnel microlens array fabricated by a home-built maskless lithography system
- Protective carbon layer for chemical corrosion of stainless steel
- Low-cost polymer fresnel microlens array fabricated by maskless lithography
- Optical implementation of cubic-phase distribution lenses for passive infrared motion sensors
- Desenvolvimento de sistemas Lab-on-Chip para análises em biofísica celular
- Fabrication of PMMA microlenses using a micromachined silicon moud
- Implementation of Fresnel full complex-amplitude digital holograms
Informações sobre o DOI: 10.1149/04901.0339ecst (Fonte: oaDOI API)
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