Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd (1994)
Source: Anais. Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica. Unidade: EP
Assunto: SEMICONDUTORES
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ABNT
BONFIM, M J C e OKURA, J H e SWART, Jacobus Willibrordus. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 04 jun. 2024.APA
Bonfim, M. J. C., Okura, J. H., & Swart, J. W. (1994). Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj.NLM
Bonfim MJC, Okura JH, Swart JW. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. Anais. 1994 ;[citado 2024 jun. 04 ]Vancouver
Bonfim MJC, Okura JH, Swart JW. Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd. Anais. 1994 ;[citado 2024 jun. 04 ]