Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H (2000)
- Autores:
- Autores USP: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Unidades: IF; EP
- Assuntos: ÓPTICA; MICROELETRÔNICA
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Fonte:
- Título do periódico: Resumos de Trabalhos
- Nome do evento: Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS
-
ABNT
SCOPEL, Wanderla Luis et al. Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H. 2000, Anais.. Campinas: LNLS, 2000. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Scopel, W. L., Fantini, M. C. de A., Alayo Chávez, M. I., & Pereyra, I. (2000). Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H. In Resumos de Trabalhos. Campinas: LNLS. -
NLM
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Scopel WL, Fantini MC de A, Alayo Chávez MI, Pereyra I. Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H. Resumos de Trabalhos. 2000 ;[citado 2024 abr. 23 ] - On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
- Structural investigation of Si-rich amorphous silicon oxynitride films
- Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis
- Nano-crystalline "Si IND.1-x" "C IND.x" :H thin films deposited by PECVD for SiC-on-insulator application
- Control of the refractive index in PECVD SiOxNy films
- SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H
- Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide
- Annealing effects of highly homogeneous a-'Si IND. 1-x''C IND. x': H
- EXAFS analysis on SiOxNy films
- Intrinsic and doped microcrystalline silicon films for application in double barrier structures
Como citar
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
