Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS (2002)
- Autores:
- Autor USP: SINATORA, AMILTON - EP
- Unidade: EP
- Assunto: FILMES FINOS (PROPRIEDADES TERMOMECÂNICAS)
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Fonte:
- ISSN: 1517-3534
-
ABNT
GUIMARÃES, Marcelo Silva e SINATORA, Amilton. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. . São Paulo: Abcm. . Acesso em: 14 maio 2024. , 2002 -
APA
Guimarães, M. S., & Sinatora, A. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. São Paulo: Abcm. -
NLM
Guimarães MS, Sinatora A. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. 2002 ;[citado 2024 maio 14 ] -
Vancouver
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