Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide (2008)
- Autores:
- Autor USP: CARREÑO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Idioma: Inglês
- Imprenta:
- Editora: The Electrochemical Society
- Local: Pennington
- Data de publicação: 2008
- Fonte:
- Título do periódico: SBMICRO 2008: Anais
- ISSN: 1938-5862
- Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
-
ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. 2008, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. . Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Rehder, G. P., & Paez Carreño, M. N. (2008). Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Rehder GP, Paez Carreño MN. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Rehder GP, Paez Carreño MN. Piezoelectric stimulation of microcantilever beams for young's modulus determination of amorphous hydrogenated silicon carbide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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