Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (2011)
- Autores:
- Autor USP: COLOMBO, FÁBIO BELOTTI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assuntos: SOFTWARES (SIMULAÇÃO); PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; AUTÔMATOS CELULARES; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Idioma: Português
- Resumo: O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades básicas para a análise mecânica de estruturas também foi desenvolvido. No que tange à microfabricação em superfície, o software desenvolvido permite simular a corrosão anisotrópica úmida do Si em KOH e deep reactive ion etching (DRIE). O simulador de corrosão úmida utiliza um autômato celular conhecido como BCA. O simulador de DRIE usa um autômato próprio. Para a simulação dos processos de microfabricação em superfície o software fornece quatro processos: deposição de filmes, corrosão de filmes, fotolitografia e planarização. Para corrosão e deposição de filmes, diversos autômatos celulares da literatura foram analisados e os resultados dessas análises é aqui apresentado. Todos os simuladores, tanto de microfabricação em superfície como em substrato, podem ser utilizados em conjunto. Isso torna o software bastante útil e capaz de simular a fabricação de um grande número de dispositivos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 30.05.2011
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ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. 2011. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/. Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Colombo, F. B. (2011). Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/ -
NLM
Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/ -
Vancouver
Colombo FB. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/
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