Simulação multifísica utilizando método dos elementos finitos auxiliando interativamente a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substratos de Bi₄Ge₃O₁₂ (2015)
- Authors:
- Autor USP: SATO, SANDRA SAYURI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEA
- Subjects: SIMULAÇÃO; MÉTODO DOS ELEMENTOS FINITOS
- Language: Português
- Abstract: Este trabalho apresenta uma metodologia desenvolvida pela autora para, através de simulações multifísicas pelo método dos elementos finitos (MEF), servir como ferramenta de apoio ao projeto e fabricação de guias de onda e moduladores eletro-ópticos em óptica integrada, além de possibilitar a análise da performance de moduladores eletro-ópticos. A técnica adotada para a fabricação dos guias de onda ópticos foi a de estresse residual induzido termicamente. Os parâmetros de geometria (espessura do filme e larguras das trincheiras) e de temperatura de deposição do filme são definidos nas simulações e utilizados no processo de fabricação de guias de ondas em óptica integrada, que servem de base para a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substrato cristalino de retículo cúbico. As trincheiras dos guias de onda do tipo canal são construídas em Germanato de Bismuto (BGO - Bi₄Ge₃O₁₂) partir da deposição sobre o substrato de um filme fino estressante de Nitreto de Silício (Si₃N₄) e definidas pelos processos de litografia óptica e corrosão por plasma. Os moduladores são obtidos através da deposição dos eletrodos de alumínio sobre o filme e são realizados os processos de litografia óptica e corrosão. A proposta do processo interativo se dá a partir dos resultados das simulações, em que são definidos os parâmetros de fabricação do filme, da trincheira e dos eletrodos. Após a fabricação desses elementos, o componente é caracterizado e são medidos os parâmetros reais do filme e do substrato. Esses valores são realimentados nas simulações para refinar o projeto do componente. O trabalho, além de apresentar todos os passos do processo interativo de simulações, projeto, fabricação e caracterização do componente desejado, indica as dificuldades encontradas na implementação do processo e as atividades futuras a serem desenvolvidas para o aperfeiçoamento do mesmo.
- Imprenta:
- Data da defesa: 12.03.2015
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ABNT
SATO, Sandra Sayuri. Simulação multifísica utilizando método dos elementos finitos auxiliando interativamente a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substratos de Bi₄Ge₃O₁₂. 2015. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3143/tde-21072016-091619/. Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Sato, S. S. (2015). Simulação multifísica utilizando método dos elementos finitos auxiliando interativamente a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substratos de Bi₄Ge₃O₁₂ (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3143/tde-21072016-091619/ -
NLM
Sato SS. Simulação multifísica utilizando método dos elementos finitos auxiliando interativamente a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substratos de Bi₄Ge₃O₁₂ [Internet]. 2015 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3143/tde-21072016-091619/ -
Vancouver
Sato SS. Simulação multifísica utilizando método dos elementos finitos auxiliando interativamente a fabricação de moduladores eletro-ópticos em substratos de Bi₄Ge₃O₁₂ [Internet]. 2015 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3143/tde-21072016-091619/
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