Fotomáscaras e fotogravação em semicondutores (1972)
- Authors:
- Autor USP: ORSI, ARMANDO GERALDO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho são estudados processo para obtenção de fotomáscaras e para realização de fotogravação e para realização de fotogravação em camadas de Si02; estes processos são desenvolvidos em relação á produção de circuitos integrados . As fotomáscaras foram obtidas através de duas etapas de redução, com a repetição efetuada na segunda etapa. Parâmetros tais como transmitância, densidade ótica e resolução útil foram estudadas na primeira e segunda redução a fim de se determinar as possibilidades e limitações do processo. A técnica desenvolvida permite obter fotomáscaras com imagens úteis até 5 µm, posicionadas sobre a placa fotográfica dentro de ± 1,1 µm. A fotogravação foi desenvolvida para a obtenção de máscaras de Si02 sobre lâminas de silício. Todos o desenvolvimento foi realizado empregando o fotoresiste KTFR; são discutidos problemas de obtenção, exposição, revelação e cozimento da camada de fotoresiste. A decapagem do Si02 foi estudada para dois decapantes, o Motorola e o DLV. O processo desenvolvido permitiu realizar fotogravações em camadas de Si02, de 0,73 µm de espessura, com imagens úteis de dimenções até 3 µm e densidade de poros compatíveis com a técnicas bipolar.
- Imprenta:
- Data da defesa: 31.01.1972
-
ABNT
ORSI, Armando Geraldo. Fotomáscaras e fotogravação em semicondutores. 1972. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1972. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Orsi, A. G. (1972). Fotomáscaras e fotogravação em semicondutores (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Orsi AG. Fotomáscaras e fotogravação em semicondutores. 1972 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Orsi AG. Fotomáscaras e fotogravação em semicondutores. 1972 ;[citado 2024 abr. 23 ] - Avaliação das alterações transversais mandibulares em paciente tratado com expansão da região média da sínfese por meio da distração osteogênica
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