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Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro (1991)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: RAMOS, CARLOS ALBERTO SANTOS - EP
  • USP Schools: EP
  • Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho foi realizado o estudo de filmes de silicio amorfo hidrogenado e suas ligas com carbono dopados com boro, num reator planar de descarga luminosa capacitiva de rf. Durante os estudos, que visavam a obtencao das condicoes ideais de deposicao desses materiais, foi observado um fator limitante, que diz respeito principalmente aos tipos de gases inseridos dentro da camara de deposicao. Neste caso nos referimos ao helio, utilizado como diluente no cilindro da diborana, que leva a producao de peliculas com propriedades opto-eletricas pobres, contrariamente as peliculas intrinsecas ou dopadas com fosforo depositadas no mesmo reator
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 19.11.1991

  • Exemplares físicos disponíveis nas Bibliotecas da USP
    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EPEL31500012773FD-1280
    How to cite
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    • ABNT

      RAMOS, Carlos Alberto Santos; PEREYRA, Inés. Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro. 1991.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1991.
    • APA

      Ramos, C. A. S., & Pereyra, I. (1991). Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Ramos CAS, Pereyra I. Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro. 1991 ;
    • Vancouver

      Ramos CAS, Pereyra I. Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro. 1991 ;