Ver registro no DEDALUS
Exportar registro bibliográfico

Estruturas de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos (1992)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: MAFRA JUNIOR, JOHNNY JOSE - EP
  • USP Schools: EP
  • Sigla do Departamento: PMT
  • Subjects: MATERIAIS
  • Language: Português
  • Abstract: E adotada uma estrutura de fonte e dreno com siliceto de titanio auto-alinhados (salicide) e barreira de difusao de titanio para resolver os problemas que surgem ao diminuir o tamanho dos dispositivos (escalamento): aumento das resistencias de contato, de interconexao, fonte, dreno, perfuracao e juncoes rasas pelo aluminio. Foram construidas varias estruturas de fonte e dreno, para comparar os desempenhos, auxiliar na identificacao dos mecanismos de falha e comprovar as vantagens da estrutura adotada. O processo foi projetado usando-se o suprem iii e o programa iden. A caracterizacao eletrica foi feita em cerca de 15000 dispositivos isso fornece a necessaria confiabilidade e representatividade aos resultados e permite a sua analise estatisticamente. A estrutura salicide adotada mostrou-se vantajosa, pois a resistencia de folha e uma ordem de grandeza menor que a implantacao ionica de fonte e dreno e a resistencia de contato e duas ordens de grandeza menor que para o 'AL' 1% 'SI'. A barreira de titanio foi eficiente para proteger as juncoes rasas e observou-se que um siliceto mais fino fornece juncoes melhores. A viabilidade e as vantagens do processo salicide para a construcao de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos foi comprovada e esta pronta para ser aplicada na implementacao de transistores completos
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 10.12.1992

  • Exemplares físicos disponíveis nas Bibliotecas da USP
    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EPMT31800005327FD-1418
    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      MAFRA JUNIOR, Johnny Jose; MARTINO, João Antonio. Estruturas de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos. 1992.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1992.
    • APA

      Mafra Junior, J. J., & Martino, J. A. (1992). Estruturas de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Mafra Junior JJ, Martino JA. Estruturas de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos. 1992 ;
    • Vancouver

      Mafra Junior JJ, Martino JA. Estruturas de fonte e dreno para transistores mos submicrometricos. 1992 ;

    Últimas obras dos mesmos autores vinculados com a USP cadastradas na BDPI: