Controle de temperatura em equipamento de processo termico rapido aplicado em microeletronica (1994)
- Authors:
- Autor USP: FISCHER, CLOVIS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Os processos termicos para laminas de material semicondutor, utilizados na industria de circuitos integrados, vem sendo aprimorados, de maneira que novas tecnicas, como a de processo termico rapido apresentada neste trabalho, tem sido amplamente pesquisadas e aplicadas em diversas etapas do processo de fabricacao. Este trabalho possui como meta o modelamento dos diversos elementos de um sistema de processo termico rapido, determinacao dos parametros destes modelos, avaliacao de uma tecnica de baixo custo para medida da temperatura de laminas de silicio e da tecnica de controle pid digital para o processo de aquecimento. O ajuste dos parametros do controlador e realizado atraves de simulacao em computador, baseado na minimizacao do erro quadratico medio. Finalmente, sao apresentados resultados obtidos para as tecnicas de medida da temperatura e de controle empregadas.
- Imprenta:
- Data da defesa: 25.04.1994
-
ABNT
FISCHER, Clovis. Controle de temperatura em equipamento de processo termico rapido aplicado em microeletronica. 1994. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Fischer, C. (1994). Controle de temperatura em equipamento de processo termico rapido aplicado em microeletronica (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Fischer C. Controle de temperatura em equipamento de processo termico rapido aplicado em microeletronica. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Fischer C. Controle de temperatura em equipamento de processo termico rapido aplicado em microeletronica. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Lyapunov exponents spectrum estimation of fractional order nonlinear systems using Cloned Dynamics
- Fractional integrator circuit unit using Charef approximation method
- Desenvovimento de dispositivos microfluídicos para sensores
- Fractional electronic circuit simulation of a nonlinear macroeconomic model
- Níveis de ruído emitidos por tratores agrícolas
- Ergonomic evaluation of vibration and noise emissions of agricultural tractors based on power and working time
- Vibration levels emitted by agricultural tractors
- Noise and vibration of tractors: an ergonomic evaluation
- Noise levels evaluation of agricultural tractors
- Electronic circuit emulation and numerical simulation of a fractional nonlinear macroeconomic dynamic model
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
