Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica (1995)
- Authors:
- Autor USP: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - IQ
- Unidade: IQ
- Sigla do Departamento: QFL
- Subjects: FÍSICO-QUÍMICA; REAÇÕES QUÍMICAS
- Language: Português
- Abstract: Reagiu-se ions positivos primarios, secundarios e terciarios de tetraetilortossilicato (teos), tetraetilortossilicato (tmos) e trimetilborato (tmb) ou os reagentes neutros com 'O POT.-', O'H POT.-', 'F POT.-', N'H IND.2 POT.-', Etn'H POT.-', 'ME IND.2''N POT.-', 'ME''O POT.-' E et'0 POT.-'. Para teos e tmos, os ions positivos apresentam reacoes de polimerizacao em fase gasosa, os mecanismos de reacao, provalvemente, sao de formacao de ciclos de 5 ou 6 membros, c, tmos decompoe-se com formacao de ions de menor massa. Quanto aos ions negativos, nota-se que a molecula apresenta dois pontos possiveis de ataque: o atomo de 'SI' ou o atomo de c ligado ao o. Os mecanismos de reacao podem ser 'BU' de substituicao nucleofilica ou eliminacao, sendo que tmos apresenta dificuldade para ocorrer o segundo. Reacao de adicao e pouco provavel, sendo encontrada apenas no sistema teos/'NI''H IND.2 POT-'. Quanto ao tmb, os ions negativos promoveram reacoes de adicao, via de regra no atomo de b. Os ions formados, por sua vez, processam reacoes secundarias, ocorrendo rapidamente reacoes de troca de radicais
- Imprenta:
- Data da defesa: 13.06.1995
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. . Acesso em: 17 abr. 2024. -
APA
Silva, M. L. P. da. (1995). Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Silva MLP da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995 ;[citado 2024 abr. 17 ] -
Vancouver
Silva MLP da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995 ;[citado 2024 abr. 17 ] - Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria
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