Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL' (1990)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; FURLAN, ROGERIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Ipen/Cnen-Sp/Dema-Ufscar
- Publisher place: Sao Paulo
- Date published: 1990
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciencia dos Materiais
-
ABNT
FURLAN, Rogério e SWART, Jacobus Willibrordus. Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL'. 1990, Anais.. Sao Paulo: Ipen/Cnen-Sp/Dema-Ufscar, 1990. . Acesso em: 29 mar. 2024. -
APA
Furlan, R., & Swart, J. W. (1990). Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL'. In Anais. Sao Paulo: Ipen/Cnen-Sp/Dema-Ufscar. -
NLM
Furlan R, Swart JW. Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL'. Anais. 1990 ;[citado 2024 mar. 29 ] -
Vancouver
Furlan R, Swart JW. Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL'. Anais. 1990 ;[citado 2024 mar. 29 ] - Verificação da redistribuição de arsenio no processo de formação de siliceto de titanio por rtp em vacuo
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