Study of the thermal stability of the al / tiw / tisi2 / si structure (1991)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; FURLAN, ROGERIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Source:
- Título do periódico: Journal of the Electrochemical Society
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.138, n.8 , p.2377-81, aug. 1991
-
ABNT
FURLAN, Rogério e VAN DER SPIEGEL, J e SWART, Jacobus Willibrordus. Study of the thermal stability of the al / tiw / tisi2 / si structure. Journal of the Electrochemical Society, v. 138, n. 8 , p. 2377-81, 1991Tradução . . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Furlan, R., Van der Spiegel, J., & Swart, J. W. (1991). Study of the thermal stability of the al / tiw / tisi2 / si structure. Journal of the Electrochemical Society, 138( 8 ), 2377-81. -
NLM
Furlan R, Van der Spiegel J, Swart JW. Study of the thermal stability of the al / tiw / tisi2 / si structure. Journal of the Electrochemical Society. 1991 ;138( 8 ): 2377-81.[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Furlan R, Van der Spiegel J, Swart JW. Study of the thermal stability of the al / tiw / tisi2 / si structure. Journal of the Electrochemical Society. 1991 ;138( 8 ): 2377-81.[citado 2024 abr. 23 ] - Verificação da redistribuição de arsenio no processo de formação de siliceto de titanio por rtp em vacuo
- Formação de siliceto de titanio por rtp em vácuo e verificação da influência do arsênio
- Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rtp in vacuum
- Estudo da liga 'TI'w como uma barreira de difusao entre aluminio e 'TI''SI IND.2'
- Obtencao de contato ohmico sobre juncoes rasas em 'SI', utilizando siliceto de 'TI' e 'TI'w entre substrato a 'AL'
- Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum
- Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide
- A simple silicon based nitric oxide sensor
- Estudo da sinterização de contatos Al/Ti por recozimento térmico rápido visando a aplicação em circuitos integrados
- Boron (bf2) influence on cobalt disilicide formation
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
