Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate (1992)
- Authors:
- Autor USP: ZASNICOFF, LUIZ SERGIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Epusp
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1992
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
CHEN, H e ZASNICOFF, Luiz Sergio. Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate. 1992, Anais.. São Paulo: Sbmicro/Epusp, 1992. . Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Chen, H., & Zasnicoff, L. S. (1992). Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate. In Anais. São Paulo: Sbmicro/Epusp. -
NLM
Chen H, Zasnicoff LS. Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate. Anais. 1992 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
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