Efeito de campo magnetico sobre energia de ions nas regioes catodica e anodica de uma camada dupla em descarga de 'HG' (1992)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
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ABNT
PETRACONI, G et al. Efeito de campo magnetico sobre energia de ions nas regioes catodica e anodica de uma camada dupla em descarga de 'HG'. 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Petraconi, G., Maciel, H. S., Oliveira, I. C., & Uehara, M. (1992). Efeito de campo magnetico sobre energia de ions nas regioes catodica e anodica de uma camada dupla em descarga de 'HG'. In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Petraconi G, Maciel HS, Oliveira IC, Uehara M. Efeito de campo magnetico sobre energia de ions nas regioes catodica e anodica de uma camada dupla em descarga de 'HG'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Petraconi G, Maciel HS, Oliveira IC, Uehara M. Efeito de campo magnetico sobre energia de ions nas regioes catodica e anodica de uma camada dupla em descarga de 'HG'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering
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