Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3' (1992)
- Authors:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Congresso de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
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ABNT
YAMAMOTO, R K e MACIEL, H. S. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (1992). Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 18 ] -
Vancouver
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 18 ] - Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering
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