Condicoes de deposicao para filmes finos em 'CR' (1992)
- Authors:
- USP affiliated authors: MISSELL, FRANK PATRICK - IF ; JOSE AUGUSTO DE ALENCAR MENDES PEREIRA - EP
- Unidades: IF; EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Cbecimat: Anais
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciencia dos Materiais
-
ABNT
WATANABE, M M et al. Condicoes de deposicao para filmes finos em 'CR'. 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Watanabe, M. M., Oppenheim, J., Missell, F. P., Schreiner, W., Bauemvol, J. R., & Pereira, J. A. A. M. (1992). Condicoes de deposicao para filmes finos em 'CR'. In Cbecimat: Anais. Campinas: Unicamp. -
NLM
Watanabe MM, Oppenheim J, Missell FP, Schreiner W, Bauemvol JR, Pereira JAAM. Condicoes de deposicao para filmes finos em 'CR'. Cbecimat: Anais. 1992 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Watanabe MM, Oppenheim J, Missell FP, Schreiner W, Bauemvol JR, Pereira JAAM. Condicoes de deposicao para filmes finos em 'CR'. Cbecimat: Anais. 1992 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Desenvolvimento de uma estrutura de duplo nível de metal para a confecção de interconexões em circuitos integrados
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