Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making (1993)
- Authors:
- Autor USP: SEABRA, ANTONIO CARLOS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
-
ABNT
SEABRA, Antonio Carlos e JONCKHEERE, R e VAN DEN HOVE, L. Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making. 1993, Anais.. Campinas: Sbmicro, 1993. . Acesso em: 13 maio 2024. -
APA
Seabra, A. C., Jonckheere, R., & Van den Hove, L. (1993). Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making. In Anais. Campinas: Sbmicro. -
NLM
Seabra AC, Jonckheere R, Van den Hove L. Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making. Anais. 1993 ;[citado 2024 maio 13 ] -
Vancouver
Seabra AC, Jonckheere R, Van den Hove L. Sal601-er7 as a negative tone resist for mask - making. Anais. 1993 ;[citado 2024 maio 13 ] - Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício
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