Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio (1994)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP ; LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/UFRJ
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria e SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e SWART, Jacobus Willibrordus. Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ, 1994. . Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Laganá, A. A. M., Silva, A. N. R. da, & Swart, J. W. (1994). Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ. -
NLM
Laganá AAM, Silva ANR da, Swart JW. Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Laganá AAM, Silva ANR da, Swart JW. Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Estudo da cinética de formação do siliceto de titânio
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