Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2 (1994)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/Ufrj
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica
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ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues e VERDONCK, Patrick Bernard. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj, 1994. . Acesso em: 17 abr. 2024. -
APA
Mansano, R. D., & Verdonck, P. B. (1994). Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/Ufrj. -
NLM
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 17 ] -
Vancouver
Mansano RD, Verdonck PB. Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 17 ] - Development and characterization of 'SI IND.3''N IND.4' plasma etching processes
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