Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio (1994)
- Authors:
- USP affiliated authors: FURLAN, ROGERIO - EP ; SILVA, ANA NEILDE RODRIGUES DA - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sbmicro/UFRJ
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 1994
- Source:
- Título do periódico: Anais
- Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica
-
ABNT
SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e FURLAN, Rogério. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ, 1994. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Silva, A. N. R. da, & Furlan, R. (1994). Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ. -
NLM
Silva ANR da, Furlan R. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Silva ANR da, Furlan R. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. Anais. 1994 ;[citado 2024 abr. 23 ] - Formação do siliceto de titânio pela deposição de uma dupla camada de 'SI'-a / 'TI' visando a utilização em linhas de interconexão local
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