Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system (1995)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; MORIMOTO, NILTON ITIRO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Instituto de Informatica da Ufrgs
- Publisher place: Porto Alegre
- Date published: 1995
- Source:
- Título do periódico: Proceedings
- Conference titles: Congress of the Brazilian Microelectronics Society
-
ABNT
MORIMOTO, Nilton Itiro e SWART, Jacobus Willibrordus e YOSHIHIRO, F M. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. 1995, Anais.. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs, 1995. . Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Morimoto, N. I., Swart, J. W., & Yoshihiro, F. M. (1995). Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. In Proceedings. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs. -
NLM
Morimoto NI, Swart JW, Yoshihiro FM. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. Proceedings. 1995 ;[citado 2024 abr. 18 ] -
Vancouver
Morimoto NI, Swart JW, Yoshihiro FM. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. Proceedings. 1995 ;[citado 2024 abr. 18 ] - Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titânio por técnicas de difração de raios-x
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