Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd (1995)
- Authors:
- Autor USP: HASENACK, CLAUS MARTIN - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
-
ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva e HASENACK, Claus Martin. Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. . São Paulo: Epusp. . Acesso em: 24 abr. 2024. , 1995 -
APA
Zambom, L. da S., & Hasenack, C. M. (1995). Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. São Paulo: Epusp. -
NLM
Zambom L da S, Hasenack CM. Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd. 1995 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
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