Aluminium etching with cc14-n2 plasmas (1996)
- Authors:
- USP affiliated authors: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP ; NAKAZAWA, ANGELA MAKIE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Proceedings
- Conference titles: Conference of the Brazilian Microelectronics Society
-
ABNT
NAKAZAWA, Angela Makie e VERDONCK, Patrick Bernard. Aluminium etching with cc14-n2 plasmas. 1996, Anais.. São Paulo: Sbmicro, 1996. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Nakazawa, A. M., & Verdonck, P. B. (1996). Aluminium etching with cc14-n2 plasmas. In Proceedings. São Paulo: Sbmicro. -
NLM
Nakazawa AM, Verdonck PB. Aluminium etching with cc14-n2 plasmas. Proceedings. 1996 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Nakazawa AM, Verdonck PB. Aluminium etching with cc14-n2 plasmas. Proceedings. 1996 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Corrosão de alumínio por plasma
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