Litografia para microeletronica (1996)
- Authors:
- Autor USP: SEABRA, ANTONIO CARLOS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Notas de Aula
- Conference titles: Oficina de Microeletronica
-
ABNT
SEABRA, Antonio Carlos e INOKI, C K. Litografia para microeletronica. 1996, Anais.. Campinas: Unicamp, 1996. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Seabra, A. C., & Inoki, C. K. (1996). Litografia para microeletronica. In Notas de Aula. Campinas: Unicamp. -
NLM
Seabra AC, Inoki CK. Litografia para microeletronica. Notas de Aula. 1996 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Seabra AC, Inoki CK. Litografia para microeletronica. Notas de Aula. 1996 ;[citado 2024 abr. 19 ] - The research networks NAMITEC and NANOFAB: nanocharacterization and nanofabrication activities
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