Effects of ion energy and arrival rate on the composition of zirconium oxide films prepared by ion-beam assisted deposition (1996)
- Authors:
- USP affiliated authors: ISOTANI, SADAO - IF ; MATSUOKA, MASAO - IF
- Unidade: IF
- DOI: 10.1063/1.362855
- Assunto: MATÉRIA CONDENSADA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Journal of Applied Physics
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.80, n.2 , p.1177, 1996
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
MATSUOKA, Masao et al. Effects of ion energy and arrival rate on the composition of zirconium oxide films prepared by ion-beam assisted deposition. Journal of Applied Physics, v. 80, n. 2 , p. 1177, 1996Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1063/1.362855. Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Matsuoka, M., Isotani, S., Miyake, S., Setsuhara, Y., Ogata, K., & Kuratani, N. (1996). Effects of ion energy and arrival rate on the composition of zirconium oxide films prepared by ion-beam assisted deposition. Journal of Applied Physics, 80( 2 ), 1177. doi:10.1063/1.362855 -
NLM
Matsuoka M, Isotani S, Miyake S, Setsuhara Y, Ogata K, Kuratani N. Effects of ion energy and arrival rate on the composition of zirconium oxide films prepared by ion-beam assisted deposition [Internet]. Journal of Applied Physics. 1996 ;80( 2 ): 1177.[citado 2024 abr. 18 ] Available from: https://doi.org/10.1063/1.362855 -
Vancouver
Matsuoka M, Isotani S, Miyake S, Setsuhara Y, Ogata K, Kuratani N. Effects of ion energy and arrival rate on the composition of zirconium oxide films prepared by ion-beam assisted deposition [Internet]. Journal of Applied Physics. 1996 ;80( 2 ): 1177.[citado 2024 abr. 18 ] Available from: https://doi.org/10.1063/1.362855 - X-ray photoelectron spectroscopy analysis of zirconium nitride-like filmsprepared on Si(100) substrates by ion beam assisted deposition
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Informações sobre o DOI: 10.1063/1.362855 (Fonte: oaDOI API)
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