Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime

Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime (1997)

Authors:
USP affiliated authors: PEREYRA, INÊS - EP ; CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; TABACNIKS, MANFREDO HARRI - IF
Unidades: EP; IF
Assunto: FISICA APLICADA
Language: Inglês
Source:
- Título do periódico: Brazilian Journal of Physics
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 27/A, n. 4, p. 150-153, 1997

A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

ABNT

PEREYRA, Inés et al. Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime. Brazilian Journal of Physics, v. 27/A, n. 4, p. 150-153, 1997Tradução . . Acesso em: 23 abr. 2024.
APA

Pereyra, I., Paez Carreño, M. N., Prado, R. J., Tabacniks, M. H., & Fantini, M. C. de A. (1997). Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime. Brazilian Journal of Physics, 27/A( 4), 150-153.
NLM

Pereyra I, Paez Carreño MN, Prado RJ, Tabacniks MH, Fantini MC de A. Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime. Brazilian Journal of Physics. 1997 ; 27/A( 4): 150-153.[citado 2024 abr. 23 ]
Vancouver

Pereyra I, Paez Carreño MN, Prado RJ, Tabacniks MH, Fantini MC de A. Carbon incorporation in 'PECVD''A-SI IND. 1-X''C ind. X': 'H' in the low power density regime. Brazilian Journal of Physics. 1997 ; 27/A( 4): 150-153.[citado 2024 abr. 23 ]