Influência da transição de fase sobre os limites de ductilidade observados no torneamento de ultraprecisão do silício monocristalino (1998)
- Authors:
- Autor USP: JASINEVICIUS, RENATO GOULART - EESC
- Unidade: EESC
- Sigla do Departamento: SEM
- Subjects: USINAGEM; ENGENHARIA MECÂNICA
- Language: Português
- Abstract: Nos últimos anos, avanços consideráveis foram alcançados no estudo da usinabilidade de materiais frágeis tais como cristais semicondutores, vidros ópticos, cerâmicas, etc. em função da demanda por processos mais rápidos de fabricação desuperfícies com formas complexas para aplicações nos campos da óptica e eletrônica. A ductibilidade apresentada por monocristais de silício durante a usinagem tem sido explicada através das Teorias de Mecânica de Fratura. Recentemente, algumasteorias novas foram apresentadas para justificar esta ductibilidade. Foi proposto que a ductibilidade de monocristais semicondutores seria provavelmente o resultado final de uma transformação de fase induzida por pressão/tensão durante o corte.Neste trabalho, a diferença entre os modos dúctil e frágil no Torneamento com Ferramenta de Ponta única de superfícies de silício monocristalino foram investigadas através da técnica de espalhamento Raman. Nas condições que proporcionam o regimedúctil, existem sempre uma amorfação superficial nas amostras, denunciadas através da ativação de uma banda óptica Raman mais larga em '470 cm POT.-1'. Esta fase amorfa pode ser considerada resultante da transição de fase a qual o silício podeter sofrido. Por outro lado, para as condições onde o modo frágil é predominante, somente um pico óptico agudo de fonon em 521.6 'cm POT.-1' está presente no espectro Raman. Baseado nas medições que determinados parâmetros de corte, tais como aprofundidade de corte e a espessuracrítica do cavaco apresentaram, este estudo propõe que o regime dúctil não deve possuir uma faixa definida e fixa de valores para os parâmetros críticos mas, ao invés disso, estes seriam dependentes daextensão da camada transformada induzida por pressão/tensão gerada pela interação entre a ponta/aresta da ferramenta de corte com a peça durante a usinagem. Esta proposta se baseia na comparação entre os valores obtidos e os medidos por outros autores que mostram que a extensão da fase amorfa observada após processos de deformação mecânica (p.e., indentação, riscamento, polimento, nanoretificação e torneamento com ferramenta de ponta única de diamante) encontram-se namesma faixa de valores encontrados para os parâmetros críticos (100-200 nm). Finalmente, foi demonstrado, através de observações da topografia de ambos, cavacos e superfícies geradas, realizadas com MEV e MFA, que este tipo de análise podeoferecer explicações significativas sobre os mecanismos de remoção de material em ação durante a usinagem e também sobre o estado microcópico da ferramenta de diamante
- Imprenta:
- Publisher place: São Carlos
- Date published: 1998
- Data da defesa: 20.11.1998
-
ABNT
JASINEVICIUS, Renato Goulart. Influência da transição de fase sobre os limites de ductilidade observados no torneamento de ultraprecisão do silício monocristalino. 1998. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 1998. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-01122017-110520/. Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Jasinevicius, R. G. (1998). Influência da transição de fase sobre os limites de ductilidade observados no torneamento de ultraprecisão do silício monocristalino (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-01122017-110520/ -
NLM
Jasinevicius RG. Influência da transição de fase sobre os limites de ductilidade observados no torneamento de ultraprecisão do silício monocristalino [Internet]. 1998 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-01122017-110520/ -
Vancouver
Jasinevicius RG. Influência da transição de fase sobre os limites de ductilidade observados no torneamento de ultraprecisão do silício monocristalino [Internet]. 1998 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-01122017-110520/ - Desenvolvimento do processo de usinagem de ultraprecisão de espelhos ópticos em metais não ferrosos
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