Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais (1999)
- Autor:
- Autor USP: SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS; SILÍCIO
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho, apresentamos um modelo inédito para a cinética de crescimento dos óxidos obtidos por oxidação térmica rápida baseado em dados experimentais de medida da concentração planar total de oxigênio utilizando a técnica de retroespalhamento ressonante. Observamos que a concentração planar total de oxigênio aumenta linearmente com o tempo de processamento de oxidação térmica rápida o que aponta para uma taxa de reação constante na interface durante todo o processo. Por outro lado, os dados experimentais de crescimento durante a rampa de aquecimento sugerem um processo de difusão inicial rápida de oxigênio dentro do silício logo no início da oxidação. Também analisamos a contaminação metálica superficial após imersão em solução diluída de ácido fluorídrico (D-HF) intencionalmente contaminada com cloretos metálicos. Os principais efeitos observados foram a possível complexação do Ferro com o Cloro resultando na presença de cloro na superfície, o efeito de deposição espontânea de cobre que chega a formar um filme e a presença de níveis residuais de Ca e Co, provavelmente também associados a reações de complexação com fluor. Finalmente, investigamos as deposições eletroquímicas de cobre e níquel sobre superfícies de silício e de outros metais para obtenção de contatos rasos. Em particular, foram fabricados e testados contatos 'CU'/'NI'/'SI'
- Imprenta:
- Data da defesa: 22.10.1999
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ABNT
SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1999. . Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Santos Filho, S. G. dos. (1999). Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Santos Filho SG dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999 ;[citado 2024 abr. 18 ] -
Vancouver
Santos Filho SG dos. Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais. 1999 ;[citado 2024 abr. 18 ] - Potentiostatic electrodeposition of Au-Sn alloys from a non-cyanide bath for soldering: influence of reagents concentrations
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