Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; ALVAREZ, INES PEREYRA DE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP
- Publisher place: Manaus
- Date published: 2000
- Source:
- Título do periódico: SBMicro 2000 : proceedings
- Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging
-
ABNT
LOPES, Alexandre Tavares et al. Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films. 2000, Anais.. Manaus: SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000. . Acesso em: 04 maio 2024. -
APA
Lopes, A. T., Alayo Chávez, M. I., Paez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (2000). Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films. In SBMicro 2000 : proceedings. Manaus: SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP. -
NLM
Lopes AT, Alayo Chávez MI, Paez Carreño MN, Pereyra I. Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films. SBMicro 2000 : proceedings. 2000 ;[citado 2024 maio 04 ] -
Vancouver
Lopes AT, Alayo Chávez MI, Paez Carreño MN, Pereyra I. Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films. SBMicro 2000 : proceedings. 2000 ;[citado 2024 maio 04 ] - 3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures
- Starving plasma effect on pecvd hydrogenated amorphous silicon carbide
- A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
- Wide gap a-Sil-Cx:H thin films obtained under starving plasm deposition conditions
- Caracterização elétrica de contatos de Al, Ni e Ti em filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD
- Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H
- Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício
- Photocurrent oscillations in a-sic: h double barrier devices exhibiting negative differential resistance
- Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante
- X-Ray Reflectivity of Amorphous Multi Layers: Interface Modeling
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
