Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: FURLAN, ROGERIO - EP ; MANSANO, RONALDO DOMINGUES - EP
- Unidade: EP
- Assunto: LASER
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- ISSN: 1517-3542
-
ABNT
ZAMBOM, Luís da Silva e FURLAN, Rogério e MANSANO, Ronaldo Domingues. Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 20 abr. 2024. , 2000 -
APA
Zambom, L. da S., Furlan, R., & Mansano, R. D. (2000). Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. São Paulo: EPUSP. -
NLM
Zambom L da S, Furlan R, Mansano RD. Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. 2000 ;[citado 2024 abr. 20 ] -
Vancouver
Zambom L da S, Furlan R, Mansano RD. Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. 2000 ;[citado 2024 abr. 20 ] - Deposition of silicon nitride films by LPCVD assisted by high density plasma
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