Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H (2001)
- Authors:
- USP affiliated authors: PEREYRA, INÊS - EP ; CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: SBMicro 2001: proceedings
- Conference titles: International Conference on Microelectronics and Packaging
-
ABNT
OLIVEIRA, A. R. e PEREYRA, Inés e PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H. 2001, Anais.. Brasília: SBMicro, 2001. . Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Oliveira, A. R., Pereyra, I., & Páez Carreño, M. N. (2001). Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H. In SBMicro 2001: proceedings. Brasília: SBMicro. -
NLM
Oliveira AR, Pereyra I, Páez Carreño MN. Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2024 abr. 18 ] -
Vancouver
Oliveira AR, Pereyra I, Páez Carreño MN. Monte Carlo simulation of doping by ion implantation into a-SIC:H. SBMicro 2001: proceedings. 2001 ;[citado 2024 abr. 18 ] - 3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures
- Starving plasma effect on pecvd hydrogenated amorphous silicon carbide
- Fabrication of self-sustained membranes using PECVD SiOxNy films
- A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
- Wide gap a-Sil-Cx:H thin films obtained under starving plasm deposition conditions
- Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício
- Caracterização elétrica de contatos de Al, Ni e Ti em filmes cristalizados de SiC obtidos por PECVD
- Photocurrent oscillations in a-sic: h double barrier devices exhibiting negative differential resistance
- Microporos em a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X': h do tipo diamante
- X-Ray Reflectivity of Amorphous Multi Layers: Interface Modeling
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
