Formation and characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS devices applications (2002)
- Authors:
- USP affiliated authors: SWART, JACOBUS WILLIBRORDUS - EP ; SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2002
- ISBN: 1-56677-328-8
- Source:
- Título do periódico: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002
-
ABNT
SANTOS, R.E. et al. Formation and characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS devices applications. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Tradução . Pennington: The Electrochemical Society, 2002. . . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Santos, R. E., Doi, I., Diniz, J. A., Swart, J. W., & Santos Filho, S. G. dos. (2002). Formation and characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS devices applications. In Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Santos RE, Doi I, Diniz JA, Swart JW, Santos Filho SG dos. Formation and characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS devices applications. In: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society; 2002. [citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Santos RE, Doi I, Diniz JA, Swart JW, Santos Filho SG dos. Formation and characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS devices applications. In: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002. Pennington: The Electrochemical Society; 2002. [citado 2024 abr. 19 ] - Use of the charge pumping technique for the evaluation of mosfet degradation due to stress in silicide / polysilicon double layer
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