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Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem (2002)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: CIRINO, GIUSEPPE ANTONIO - EP
  • USP Schools: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: HOLOGRAFIA DIGITAL; FOTOLITOGRAFIA
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho foram fabricados vários tipos de elementos ópticos difrativos (EODs) a partir de etapas de processos de fabricação de microssistemas, tais como fotolitografia e corrosão por plasma. Para tanto, foram desenvolvidas etapas de processos de fabricação, e foi investigado o emprego de novos materiais, tal como filme fino de carbono amorfo hidrogenado (a:C-H). Dentre os dispositivos fabricados, estão EODs com modulação de fase, de amplitude e de ambos (modulação complexa), operando por transmissão ou por reflexão. Materiais como o silício monocristalino, o dióxido de silício (silica fundida), filme fino a:C-H, polímeros tipo Novolak e polimetilmetacriato (PMMA) foram empregados. A fabricação do EOD com modulação complexa mostrou o sucesso do projeto e implementação de um EOD ainda não reportado na literatura. Este elemento emprega filme a:C-H para modulação da fase e um filme refletivo de alumínio para a modulação da amplitude de uma frente de onda, incidente no dispositivo. Com esta abordagem pode-se obter imagens mais ricas em detalhes, com elevada eficiência e baixo nível de ruído
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 24.05.2002

  • Exemplares físicos disponíveis nas Bibliotecas da USP
    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EPEL31500011578FT-1718
    How to cite
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    • ABNT

      CIRINO, Giuseppe Antonio; VERDONCK, Patrick Bernard; GONÇALVES NETO, Luiz. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002.
    • APA

      Cirino, G. A., Verdonck, P. B., & Gonçalves Neto, L. (2002). Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Cirino GA, Verdonck PB, Gonçalves Neto L. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002 ;
    • Vancouver

      Cirino GA, Verdonck PB, Gonçalves Neto L. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002 ;

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