Diamond microstructures fabricated using silicon molds (2005)
- Authors:
- USP affiliated authors: SALVADORI, MARIA CECILIA BARBOSA DA SILVEIRA - IF ; MANSANO, RONALDO DOMINGUES - EP ; VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidades: IF; EP
- DOI: 10.1116/1.2091095
- Subjects: MATERIAIS; DIAMANTE; MICROSCOPIA ELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Journal of Vacuum Science & Technology
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 23, n. 6, p. 1575-1578, 2005
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
SALVADORI, Maria Cecília Barbosa da Silveira et al. Diamond microstructures fabricated using silicon molds. Journal of Vacuum Science & Technology, v. 23, n. 6, p. 1575-1578, 2005Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1116/1.2091095. Acesso em: 28 mar. 2024. -
APA
Salvadori, M. C. B. da S., Martins, D. R., Mansano, R. D., Verdonck, P. B., & Brown, I. G. (2005). Diamond microstructures fabricated using silicon molds. Journal of Vacuum Science & Technology, 23( 6), 1575-1578. doi:10.1116/1.2091095 -
NLM
Salvadori MCB da S, Martins DR, Mansano RD, Verdonck PB, Brown IG. Diamond microstructures fabricated using silicon molds [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology. 2005 ; 23( 6): 1575-1578.[citado 2024 mar. 28 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.2091095 -
Vancouver
Salvadori MCB da S, Martins DR, Mansano RD, Verdonck PB, Brown IG. Diamond microstructures fabricated using silicon molds [Internet]. Journal of Vacuum Science & Technology. 2005 ; 23( 6): 1575-1578.[citado 2024 mar. 28 ] Available from: https://doi.org/10.1116/1.2091095 - Diamond replicas on silicon substrate
- Diamond membranes with controlled porosity
- Diamond like-carbon microoptics elements
- High-density plasma chemical vapor deposition of amorphous carbon films
- Complex-amplitude modulation diffractive optical element performed by aperture variations on a reflective aluminium layer deposited over a variable thickness SiC2 substrate
- The influence of additives on electrical characteristics of DLC films deposited by reactive sputtering
- Corrosão por plasma para aplicações em micromecânica
- Contamination due to memory effects in filtered vacuum arc plasma deposition systems
- Nanostructured diamond-like carbon films characterization
- Nano-structured diamond-like carbon films obtained by high density plasma chemical vapor deposition
Informações sobre o DOI: 10.1116/1.2091095 (Fonte: oaDOI API)
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas