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Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC (2006)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: MARTINS, DEILTON REIS - EP
  • USP Schools: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: FILMES FINOS; DIAMANTE
  • Language: Português
  • Abstract: Uma das técnicas para fabricar microestruturas em diamante é usar moldes em silício microfabricados. Assim, microestruturas são produzidas em laminas de silício, um filme de diamante é depositado sobre essa lamina e o silício é corroído. Dessa forma é possível se obter réplicas de diamante das microestruturas que estavam presentes na superfície do molde de silício. Nesta técnica é muito importante a fidelidade morfológica da réplica de diamante, quando comparada ao molde de silício, previamente microfabricado. Um dos objetivos deste trabalho é analisar quantitativamente a fidelidade de reprodução de microestruturas em filmes de diamante, utilizando moldes de silício microfabricados. Nossos resultados mostram que a rugosidade das réplicas de diamante é sistematicamente maior que a rugosidade dos moldes de silício. Medindo degraus em escala de centenas de nanômetros, o erro na reprodução morfológica está entre 6 e 11 %. No caso de medidas de degraus em escala de dezenas de nanômetros, o erro na reprodução é de aproximadamente 18 %. O segundo objetivo deste trabalho consiste em comparar a variação da rugosidade de uma superfície devido ao recobrimento com filmes de DLC. Os resultados sugerem que, para substratos com rugosidade original de centenas de nanômetros, a variação da rugosidade tende a aumentar com a espessura do filme de DLC até um valor máximo, a partir do qual ela tende a diminuir. Para substratos com rugosidade original de alguns poucos nanômetros,a variação da rugosidade oscila aleatoriamente, não apresentando tendências de aumentar ou diminuir com a espessura do filme de DLC. Finalmente, a última parte desta Tese foi fabricar um microbocal de diamante utilizando a técnica de moldes microfabricados em silício
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 25.09.2006
  • Acesso online ao documento

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    EPBC31200021087FT-2320
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    • ABNT

      MARTINS, Deilton Reis; SALVADORI, Maria Cecília Barbosa da Silveira. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC. 2006.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/ >.
    • APA

      Martins, D. R., & Salvadori, M. C. B. da S. (2006). Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/
    • NLM

      Martins DR, Salvadori MCB da S. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC [Internet]. 2006 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/
    • Vancouver

      Martins DR, Salvadori MCB da S. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC [Internet]. 2006 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/

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