Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS) (2006)
- Authors:
- Autor USP: CARRENO, MARCELO NELSON PAEZ - EP
- Unidade: EP
- Subjects: ENGENHARIA DE SOFTWARE; SIMULAÇÃO (PROCESSOS)
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: 14 SIICUSP 2006: anais
- Conference titles: Simposio Internacional de Iniciaçao Cientifica da Universidade de Sao Paulo
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ABNT
TSUDA, Fernando e PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS). 2006, Anais.. São Paulo: USP, 2006. . Acesso em: 16 abr. 2024. -
APA
Tsuda, F., & Paez Carreño, M. N. (2006). Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS). In 14 SIICUSP 2006: anais. São Paulo: USP. -
NLM
Tsuda F, Paez Carreño MN. Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS). 14 SIICUSP 2006: anais. 2006 ;[citado 2024 abr. 16 ] -
Vancouver
Tsuda F, Paez Carreño MN. Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS). 14 SIICUSP 2006: anais. 2006 ;[citado 2024 abr. 16 ] - Formation of 3C-SIC films on silicon by thermal annealing process
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