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Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa (2007)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: MEDEIROS, MARINA SPARVOLI DE - EP
  • USP Schools: EP
  • Subjects: ÓPTICA; CORROSÃO; SILÍCIO; FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA)
  • Language: Português
  • Abstract: Neste projeto foram desenvolvidos elementos ópticos difrativos fabricados em vidro óptico com modulação de fase, elementos fabricados em silício e em Diamond Like Carbon (carbono tipo diamante) com modulação completa de fase e amplitude. O vidro óptico começa a transmitir em 277 nm (ultravioleta) e vai até o infravermelho próximo (2200 nm) da mesma maneira que o Diamond Like Carbon (que começa a transmitir em 330 nm). Já o silício é um material que começa a transmitir no infravermelho próximo (em torno de 980 nm) e vai até o infravermelho médio (16000 nm). Tanto para o Diamond Like Carbon como para o vidro óptico, optou-se por desenvolver dispositivos que operem para um comprimento de onda de 632,8 nm. Já os elementos ópticos difrativos baseados em silício foram fabricados para operar em 2 comprimentos de onda: 1550 nm e 10600 nm. Para os dispositivos fabricados, foram utilizadas etapas de limpeza de substrato, de deposição de filmes, de litografia e de corrosão úmida e por plasma. A etapa de corrosão por plasma foi o principal objeto de estudo do processo de fabricação com o intuito de otimizá-la. Foram feitos estudos de taxa de corrosão dos materiais com diferentes composições gasosas com a finalidade de se encontrar os parâmetros mais adequados para otimizar a fabricação dos dispositivos. As melhores condições de processo de corrosão por plasma para o vidro são pressão de 100 mTorr e potência de 400 W, para o Diamond Like Carbon, pressão de 25 mTorr e potência de 50 W e para o silício os parâmetros são pressão de 100 mTorr e potência de 150 W. Análises ópticas dos elementos, fabricados com esses processos foram realizadas.Na análise óptica dos dispositivos de vidro com dois e quatro níveis de modulação de fase ficou evidente que os elementos ópticos apresentaram bom desempenho devido à uniformidade da intensidade da luz projetada nas imagens e da baixa intensidade do ponto de ordem zero, além das imagens estarem bem focadas e definidas. Para os dispositivos fabricados em Diamond Like Carbon foram formadas imagens bem definidas e focadas. Em uma análise óptica da rugosidade RMS dos filmes finos de Diamond Like Carbon através da obtenção da Reflectância Total e da Reflectância Difusa, foi encontrado um valor de 18,8 nm, o qual se encontra bem abaixo do limite de 63 nm, o que faz com que o dispositivo gere uma imagem otimizada.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 07.08.2007
  • Acesso online ao documento

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    Exemplares físicos disponíveis nas Bibliotecas da USP
    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EPBC31200011414FD-4775
    How to cite
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    • ABNT

      MEDEIROS, Marina Sparvoli de; MANSANO, Ronaldo Domingues. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa. 2007.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/ >.
    • APA

      Medeiros, M. S. de, & Mansano, R. D. (2007). Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/
    • NLM

      Medeiros MS de, Mansano RD. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/
    • Vancouver

      Medeiros MS de, Mansano RD. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-173703/