Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício (2007)
- Authors:
- USP affiliated authors: CARREÑO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; PEREYRA, INES - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SISTEMAS NANOELETROMECÂNICOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Universidade de São Paulo
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2007
- Source:
- Título do periódico: 15 SIICUSP: anais
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
SESSO, Daniel Baraldi e PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson e PEREYRA, Inés. Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício. 2007, Anais.. São Paulo: Universidade de São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/15Siicusp/ficha2864.pdf. Acesso em: 28 mar. 2024. -
APA
Sesso, D. B., Páez Carreño, M. N., & Pereyra, I. (2007). Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício. In 15 SIICUSP: anais. São Paulo: Universidade de São Paulo. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/15Siicusp/ficha2864.pdf -
NLM
Sesso DB, Páez Carreño MN, Pereyra I. Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício [Internet]. 15 SIICUSP: anais. 2007 ;[citado 2024 mar. 28 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/15Siicusp/ficha2864.pdf -
Vancouver
Sesso DB, Páez Carreño MN, Pereyra I. Desenvolvimento e caracterização de um acelerômetro de silício [Internet]. 15 SIICUSP: anais. 2007 ;[citado 2024 mar. 28 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/15Siicusp/ficha2864.pdf - 3D topography in self-sustained membranes of SiOxNy obtained by PECVD technique at low temperatures
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