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Filtro de interferência variável e descrição de uma aplicação: um dispositivo multicanal espectral para análise ambiental (2010)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: SILVA, CELSO MANOEL DA - EP
  • USP Schools: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: FILMES FINOS; FOTÔNICA; ESPECTROMETRIA
  • Language: Português
  • Abstract: O objetivo deste trabalho foi desenvolver um método de obtenção e de caracterização de um dispositivo de interferência variável constituído por refletores dielétricos multicamadas de filmes finos e uma cavidade de Fabry-Perot, não planar com perfil linear e inclinada, intercalada. As camadas do conjunto são depositadas em forma de sanduíche para constituir um filtro óptico usado para converter a informação espectral em um sinal dependente de uma de suas dimensões. Os resultados obtidos neste trabalho pretendem contribuir no desenvolvimento de novas possibilidades da tecnologia de fabricação de dispositivos ópticos integrados. A maior contribuição deste trabalho é a configuração do projeto de adaptação ao equipamento e-Beam e aperfeiçoamento da técnica de deposição de filmes finos para obtenção dos filtros de interferência variável. O processo mostrou limitações em relação à necessidade de interrupção do vácuo no processo de deposição. Contudo, a partir daí, uma nova e mais abrangente possibilidade se apresentou na confecção de filtros de interferência variável: um filtro de interferência variável com mais ampla faixa de resposta espectral juntamente com alta rejeição de bandas laterais. Amostras de deposições realizadas com Oxido de Titânio e caracterizadas por Fluorescência de raios-X demonstram resultados bastante satisfatórios do perfil inclinado necessário ao processo de construção dos mencionados filtros.Os resultados deste trabalho permitem vislumbrar oportunidades para aplicações em sistemas Lab-on-Chip, biosensores, detectores chip-size, espectrometria de fluorescência on-chip, detectores de deslocamento de comprimento de onda, sistemas de interrogação, etc.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 05.02.2010
  • Acesso online ao documento

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    EPBC31200023397FD-5402 Ed.rev.
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    • ABNT

      SILVA, Celso Manoel da; ONMORI, Roberto Koji. Filtro de interferência variável e descrição de uma aplicação: um dispositivo multicanal espectral para análise ambiental. 2010.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05122012-170614/pt-br.php >.
    • APA

      Silva, C. M. da, & Onmori, R. K. (2010). Filtro de interferência variável e descrição de uma aplicação: um dispositivo multicanal espectral para análise ambiental. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05122012-170614/pt-br.php
    • NLM

      Silva CM da, Onmori RK. Filtro de interferência variável e descrição de uma aplicação: um dispositivo multicanal espectral para análise ambiental [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05122012-170614/pt-br.php
    • Vancouver

      Silva CM da, Onmori RK. Filtro de interferência variável e descrição de uma aplicação: um dispositivo multicanal espectral para análise ambiental [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05122012-170614/pt-br.php